常用的一套的氮氣發生器是由空壓機、空氣儲氣罐、過濾器、冷干機、制氮主機和氮氣儲氣罐組成。當然也可以根據具體要求加上一些其他的設備如：除油器、吸附式干燥機、氮氣增壓機和高壓儲氣罐等等。
氮氣發生器對于設備入口的壓縮空氣的潔凈度的要求比較高，所以壓縮空氣在進入設備之前是需要經過過濾系統的。凈化系統有干燥機與過濾器組成。一般的都是由三級過濾器和冷干機組成的。過濾器的安裝順序是在冷干機前面安裝C級的過濾器即預過濾器，之后連接冷干機，后面連接T級(主管路過濾器)，之后再安裝*(除油過濾器)。如果還有其他要求的，可以在*之后在安裝A*(超除油過濾器)和活性炭過濾器。
而且其過濾器使用5000-6000個小時就需要更換過濾器芯，定期對設備進行保養，才能使得設備的使用效果更好。
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